洁净空调系统设计
3.1 洁净冷负荷计算
夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。经计算:100级区域冷负荷指标为880W/m2,1000级冷负荷指标:480W/m2。普通区域(testarea)冷负荷指标:600W/m2(普通区域放置测试设备,发热量较大)。
3.2 100级、1000级洁净房的空调方式洁净房采用FHU+DCU+FFU的空调方式,洁净房空调及气流组织形式见图1。
其中,FHU为新风机组(Freshairhandingu2nit),另外,新风机组对新风采取了初、中、高过滤处理。新风机组包括:初效段,无尘车间报价,表冷段,无尘车间哪家好,中效段,加热段(厂家有热水系统,采用热盘管),加湿段(厂家有蒸气),高段。其中,空气清洗段厂家先要求预留,扬州无尘车间,以后再增加新风机组担负洁净房的湿度控制,保持洁净房的正压和人员新风需求。
建筑材料的产尘是一种不可忽视的污染源。实践证明,即使在无碰撞的情况下,建筑材料表面也在不断地向周围空间散发微粒子,而这些都与材料的使用状态、质量、老化程度等有着直接关系。在电子厂净化车间内,某些电子产品会因化学污染物在产品表面降落沉积从而影响产品质量或在后续生产过程中发生化学反应,造成次品以至废品,所以电子厂净化车间装饰材料(包括密封材料)不得采用对电子产品有影响的材料。在进行净化车间设计或选用装饰材料时,应与具体项目的业主方或生产工艺提供方进行协调后确定。
另外,由于净化车间内的装修用料一般均为高分子合成材料,而各种合成纤维织物和绝缘材料制成的工作服、工作鞋在动摩擦下均会不断产生静电。物体带静电后,会产生力学、放电和感应三方面的问题,并会引起其他不良影响,危害极大。因此对于净化车间的室内装修设计特别是地面设计的消静电措施以及去静电无尘工作服的研究等也应引起极大的重视。
洁净厂房空调系统特点
洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同,它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内,在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃,就可能导致芯片电路短路。如今,半导体集成电路的发展突飞猛进,近英特尔公司更是推出了采用32
nm线宽的高端处理器芯片,把生产环境的洁净度控制推向了。另外,无尘车间施工,洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外,还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。
同时,由于半导体器件生产工艺的特点,要求洁净厂房内全天(24h)保持相应的洁净度,目此,洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24
h运行,这也与其他空调系统极其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。